伯東國際通商參展 SEMICON Taiwan 2026 聚焦製程氣體分析與真空監控
伯東國際通商（HAKUTO Taiwan Ltd）參展 SEMICON Taiwan 2026 國際半導體展，聚焦半導體先進製程所需的氣體分析、真空監控與原位量測（In-situ Metrology）技術，現場展出 ATONARP ASTON Impact、Gencoa Optix及VACGAS-G16 等解決方案，協助晶圓製造與設備業者提升製程穩定度、異常偵測及智慧化控制能力。
隨著半導體製程持續微縮，ALD、CVD、蝕刻及薄膜沉積等製程對腔體環境、氣體濃度及反應狀態的控制日益嚴格。如何即時掌握反應物、製程副產物及腔體污染等資訊，已成為提升良率與設備稼動率的重要課題。伯東此次展出的多項產品，即以「讓製程狀態可被即時看見」為核心。
其中，ATONARP ASTON Impact 為針對半導體製造應用開發的質譜分析系統，強調將分子層級分析能力導入製程現場，可即時追蹤不同氣體與分子訊號，應用於製程監控、腔體清潔、端點判定及製程最佳化。透過原位量測取得即時數據，有助製程控制由傳統依賴固定時間與參數設定，進一步朝向以實際反應狀態為依據的智慧控制發展。
現場另一項焦點 Gencoa Optix，則利用光譜技術分析真空腔體中的氣體組成。展場看板以「Precise Metrics」、「Spectral Fingerprints」及「Multi-Gas Tracking」等功能為訴求，並展示壓力範圍比較與氬氣洩漏偵測等應用。Optix可運用於ALD、CVD、Etch及PVD等製程，協助工程人員掌握氣體變化、洩漏與製程週期狀態。
此外，伯東亦展示 VACGAS-G16 真空腔體監控方案，著重Chamber Health Monitoring、System Status Tracking、Quality Control Reporting及Fast Feedback Control等功能，可協助掌握真空腔體健康狀態，及早發現污染、洩漏或氣體異常，降低製程偏移造成的生產風險。
從此次SEMICON Taiwan 2026展示可看出，伯東正將既有真空技術與新一代氣體、分子分析技術進一步整合。面對先進製程對精準度及即時監控需求持續提升，透過氣體分析、光譜量測與腔體健康監控，將不可直接觀察的製程反應轉化為可量化的數據，不僅有助於製程最佳化與異常預警，也將成為半導體智慧製造及提升設備稼動效率的重要技術環節。
